??SEMI S2-0200火災(zāi)防護規(guī)范


SEMI S2-0200 第14節(jié) Fire Proctection

SEMI S2-0200第14節(jié)－火災(zāi)防護，適用于設(shè)備內(nèi)的火災(zāi)危害的保護，提供防火安全設(shè)計以及設(shè)備控制上最低的安全標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)容有14.2風(fēng)險評估（Risk Assessment）、14.3認(rèn)證報告（Reporting）、14.4火災(zāi)風(fēng)險降低（Fire Risk Reduction）、14.5警告和安全工作訓(xùn)練（Warnings and Safe Work Practices）、14.6火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)的維修和測試（Maintenance and Testing of Fire Detection and Suppression Systems）、14.7環(huán)保（Environmental）等幾部分。

在風(fēng)險評估方面強調(diào)「一份風(fēng)險評估的數(shù)據(jù)應(yīng)該由合格的第三者執(zhí)行(或判斷)以確認(rèn)火災(zāi)的潛在危害以及合適的控制方法。風(fēng)險評估應(yīng)該考慮設(shè)備內(nèi)部正常操作及合理的可以預(yù)見的單一點失效。不考慮外部引火源的曝露?！梗L(fēng)險評估者需具有專業(yè)專門知識來從事火災(zāi)危害風(fēng)險分析，其資格請看SEMI S7 。

而一份認(rèn)證的報告應(yīng)對每種辨識出的殘存火災(zāi)危害，有以下的三個特性：1.被指出的嚴(yán)重性、2.被指出的可能性，3.風(fēng)險分類的結(jié)果。此份報告可作為采購部門采購設(shè)備的規(guī)范依據(jù)之一。

火災(zāi)風(fēng)險的降低可從幾個方面著手：
1.      選用不可燃材料－設(shè)備的結(jié)構(gòu)應(yīng)用不可燃性材料所構(gòu)成。如果制程化學(xué)物質(zhì)不允許使用不燃性材料，那么設(shè)備的材料應(yīng)該是合適使用并且與使用之化學(xué)物質(zhì)兼容，使火災(zāi)的風(fēng)險減至最輕。
2.      制程化學(xué)物質(zhì)危害的消除－設(shè)計上應(yīng)該考慮非易燃性制程化學(xué)物質(zhì)來替換易燃性化學(xué)物質(zhì)。
3.      利用工程控制－
a.    導(dǎo)因于設(shè)備材料的火災(zāi)危害可以經(jīng)由工程控制的方式減輕（例如：將可燃性的材料與引火源用不可燃性的障礙隔間、安裝滅火系統(tǒng)可以撲滅引火性物質(zhì)。）
b.    火災(zāi)偵測及滅火系統(tǒng)應(yīng)該與電源及化學(xué)物質(zhì)供應(yīng)保持連鎖裝置，以避免在消防偵測或是滅火系統(tǒng)閑置時預(yù)防啟動設(shè)備。
c.    利用潔凈室排煙可以用來減輕因為產(chǎn)品燃燒引起火災(zāi)的風(fēng)險。減輕方法應(yīng)該在火焰延燒時結(jié)合火警偵測及滅火系統(tǒng)。
4.      選用火災(zāi)偵測系統(tǒng)－
a.    火災(zāi)偵測器、警報及控制系統(tǒng)應(yīng)該通過核可的測試實驗室驗證及合適的國際法規(guī)或是標(biāo)準(zhǔn)(如NFPA 72)來安裝。
b.    火災(zāi)偵測系統(tǒng)應(yīng)該有與廠房的警報系統(tǒng)相連接之接口。
c.    火災(zāi)偵測系統(tǒng)啟動時應(yīng)該在設(shè)備端發(fā)出可聽到的聲響及可見到的訊號。
d.    應(yīng)該考慮火災(zāi)偵測系統(tǒng)的手動啟動能力，使得警報可以傳送至?xí)r常有人工作的場所。
e.    提供一個備用電源可以維持偵測系統(tǒng)操作24 小時。
f.    火災(zāi)偵測系統(tǒng)應(yīng)該在EMO 啟動時仍然維持功能。
g.    偵測系統(tǒng)內(nèi)部電力供應(yīng)不能提供延長維修時間全部供應(yīng)電力時，設(shè)備供貨商應(yīng)提供不是移除火災(zāi)危害就是安全地供應(yīng)電力給偵測系統(tǒng)的文件程序。
h.    火災(zāi)偵測系統(tǒng)啟動應(yīng)該在設(shè)備的最短時間之內(nèi)允許設(shè)備可以安全的停機。包括停止任何火災(zāi)相關(guān)危害源（會對受影響的模塊或組件產(chǎn)生額外的火災(zāi)風(fēng)險）。
5.      選用火災(zāi)抑制系統(tǒng)－
a.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)包括噴嘴、啟動器及相關(guān)的控制設(shè)施，應(yīng)該經(jīng)過合格的測試實驗室認(rèn)證且其應(yīng)用必須合適。抑制藥劑的選擇應(yīng)該包括對于無塵室潛在的破壞的估算及選用破壞能力最小的藥劑。藥劑及供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)該依照合適的國際標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(例如：NFPA 12, NFPA 13, NFPA 2001)。
b.    設(shè)備上啟動火災(zāi)抑制系統(tǒng)時，應(yīng)該有可以聽到及看見的警報，這也有可能是由同樣的火警偵測系統(tǒng)啟動。
c.    如果藥劑釋放可能對人有危險，警報發(fā)生時應(yīng)該有足夠的時間可以讓人員避免藥劑釋放產(chǎn)生的危害。
d.    如果在設(shè)備內(nèi)部有一個局限空間，應(yīng)該在該工作場所標(biāo)示滅火系統(tǒng)可能帶來的缺氧風(fēng)險。
e.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)應(yīng)該在EMO 啟動時仍然維持功能。
f.    抑制系統(tǒng)內(nèi)部電力供應(yīng)不能提供延長維修時間全部供應(yīng)電力時，設(shè)備供貨商應(yīng)提供不是移除火災(zāi)危害就是安全地供應(yīng)電力給抑制系統(tǒng)的文件程序。
g.    提供一個備用電源可以維持抑制系統(tǒng)操作24 小時。
h.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)應(yīng)該有與廠房的警報系統(tǒng)相連接之接口。
i.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)的啟動應(yīng)該使設(shè)備在最短的時間內(nèi)停機，并且使得設(shè)備可以安全的停機。
j.    火災(zāi)抑制藥劑管線應(yīng)該由防止腐蝕組件構(gòu)成，設(shè)計上減輕水在組件附近的累積或是其它促進腐蝕的情形，機械設(shè)計上容易執(zhí)行檢查；管線的安裝及測試應(yīng)確認(rèn)其可以承受經(jīng)常性的藥劑釋放的壓力。

警告和安全工作訓(xùn)練方面，設(shè)備供貨商應(yīng)將火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)的工作安全要求及警告成為提供文件的一部份。(例如：在火警偵測系統(tǒng)偵測的范圍內(nèi)使用明火的限制，在加壓滅火設(shè)備儲存之危害性能量)。

火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)的維修和測試要求：
1.    設(shè)備供貨商應(yīng)該提供詳細的每個設(shè)備的火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)的維護及測試程序，包括測試頻率。
2.    在無塵室內(nèi)應(yīng)該避免使用產(chǎn)生化學(xué)物質(zhì)的測試設(shè)備(例如：罐裝的生煙器)。
3.    維護測試程序應(yīng)該包括與廠房接口的測試以及辨識設(shè)備上之所有的火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)均能發(fā)揮功效。
4.    偵測及抑制系統(tǒng)在設(shè)計上應(yīng)該可以藉由組件的維護保養(yǎng)使其成效不致降低(例如：產(chǎn)生偵測器的破壞)。
5.    設(shè)備供貨商應(yīng)該將藥劑噴射時的噪音音壓位準(zhǔn)文件化。
6.    作為火災(zāi)偵測及抑制系統(tǒng)維護及測試的材料及程序不應(yīng)該降低設(shè)備執(zhí)行其功能的能力。

環(huán)保要求為「設(shè)備供應(yīng)者應(yīng)該提供使用者設(shè)備的火災(zāi)抑制藥劑釋放時造成影響的指引。」

總結(jié)
SEMI S2-0200火災(zāi)防護規(guī)范
前言
在半導(dǎo)體廠房潔凈室里的意外事故統(tǒng)計上，以火災(zāi)發(fā)生的次數(shù)最多，也最為嚴(yán)重?；馂?zāi)發(fā)生的原因很多，大部分都與制程設(shè)備有關(guān)，動輒數(shù)以億計的設(shè)備在潔凈室里處處皆是，火災(zāi)發(fā)生所造成的財物損失與商機中斷，對公司的營運影響十分嚴(yán)重。因此廠商在采購設(shè)備時，如能滿足SEMI S2-0200半導(dǎo)體制造設(shè)備安全衛(wèi)生環(huán)保基準(zhǔn)的要求，會將發(fā)生火災(zāi)的風(fēng)險降至最低，其涵蓋的內(nèi)容相當(dāng)?shù)膹V泛，規(guī)范要求也很多，以下僅就第14節(jié) 火災(zāi)防護做介紹。設(shè)備火災(zāi)防護除了需要風(fēng)險評估和文件報告外，也應(yīng)考慮如何減輕風(fēng)險。設(shè)備結(jié)構(gòu)的材料應(yīng)優(yōu)先使用不可燃材質(zhì)，其次是選擇不能傳播火焰的材質(zhì)。這樣的觀念與SEMI S14（半導(dǎo)體制造設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險評估與減輕基準(zhǔn)）和NFPA318（潔凈室保護標(biāo)準(zhǔn)）相同，材料的選用是將火災(zāi)風(fēng)險降至最低，其與制程化學(xué)物質(zhì)兼容性，也極重要的。減輕結(jié)構(gòu)材料的危害，可使用不可燃性材質(zhì)的屏障，將點火源與可燃性材質(zhì)隔離，當(dāng)然也可使用火災(zāi)偵測與抑制系統(tǒng)。制程化學(xué)物質(zhì)危害的減輕應(yīng)考慮使用非易燃性化學(xué)品來取代易燃性化學(xué)品。使用工程控制方法來減輕風(fēng)險，比如說連鎖裝置，當(dāng)電力遽增或化學(xué)品溢散可能造成危害時，連鎖應(yīng)能在偵測系統(tǒng)或抑制系統(tǒng)不能正常運作時，防止上述危害發(fā)生。排煙系統(tǒng)將煙抽離潔凈室也是另一種工程控制的方法。利用火災(zāi)偵測和抑制系統(tǒng)也是如此，但系統(tǒng)的組件應(yīng)能適用在制程設(shè)備上，需經(jīng)過核可的測試實驗認(rèn)證通過，且要按照合適的標(biāo)準(zhǔn)來安裝并能與廠務(wù)系統(tǒng)連結(jié)。在維修時，或一個設(shè)備控制失效時，或緊急手動關(guān)閉按鈕（EMO）按下時，要能維持正常運作。至于滅火動作可能對環(huán)境的危害也應(yīng)在評估報告中提出。